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金剛石長(cháng)晶設備（10kw）
產(chǎn)品概述
金剛石長(cháng)晶設備（10kw）
Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長(cháng)系統，是實(shí)現高質(zhì)量金剛石晶體生長(cháng)、高純度晶體薄膜沉積、高溫晶體熱處理的專(zhuān)業(yè)設備。廣泛應用于金剛石晶體生長(cháng)、原料沉積、晶體熱處理領(lǐng)域。
技術(shù)參數
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序號 |
項目 |
規格/參數 |
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01 |
尺寸(約) |
1800x1200x2100mm |
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02 |
重量(約) |
500kg |
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03 |
微波功率 |
MAX 12kw/2.45GHZ |
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04 |
微波泄漏值 |
＜5mw/cm2 |
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05 |
腔體材料 |
風(fēng)冷式石英中罩式腔體，高純石英密封環(huán) |
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06 |
腔體保壓 |
2小時(shí)保壓漏率小于0.3Torr |
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07 |
主要氣體管道 |
5路MFC |
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08 |
極限真空值 |
＜1.0x10-9mbar.l/s |
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09 |
極限真空 |
≤0.6Pa |
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10 |
進(jìn)樣口 |
底面升降進(jìn)樣口 |
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11 |
制程溫度范圍 |
0-1400℃ （MAX 1500℃） |
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12 |
工作壓力范圍 |
0-300Torr |
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13 |
生長(cháng)速率 |
0-30μm可控 |
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14 |
有效沉積區域 |
76.8-83.6mm |
亮點(diǎn)
我們研發(fā)的金剛石專(zhuān)業(yè)設備屬?lài)鴥阮I(lǐng)先，設備自動(dòng)化程序高、控制精度高，所生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量?jì)?yōu)，成品率高，能耗極低。生產(chǎn)人員擁有多年CVD法生產(chǎn)經(jīng)驗和技術(shù)。
MPCVD
化學(xué)氣相沉積法
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